公开号：	US2007283884A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	用于基底加工室的环形配件
摘要：	一种环形配件被提供作为在基底加工室中使用的基底支架，这个基底的支架包括一个环形的边和一个内侧的圆周壁。在某个角度看，这个环形配件包括：（i）包含一个拥有搁在环形边上的水平支腿和贴于内侧圆周壁的竖直支腿的L形绝缘环，以及（ii）一个有环形边带的沉积环，环形带有覆盖绝缘环水平支腿的重叠边。在另一个视角，这个沉积环由一个绝缘的水平带构成，水平带环绕并覆盖着基底支架的水平边，还有支架和紧固件。