公开号：	US2008011934A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	压印技术
摘要：	一种制备压印模板的方法包括将一种可固化材料放置在主模板图案化的表面，使可固化材料固化从而形成一个拥有与主模板图案表面相反的图案化表面的二级模板；将二级模板从主模板上取下；对这一个基底使用无机的溶胶-凝胶；用二级模板压印无机的溶胶-凝胶；使无机的溶胶-凝胶固化；将二级模板从固化的无机溶胶-凝胶上取下，这样这个无机的溶胶-凝胶形成一个图案化的三级模板，其图案与主模板图案化的表面一致