公开号：	US2008035605A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	排气配件用于等离子体的处理系统与方法
摘要：	一种排气配件被描述用于等离子体的处理系统，其中次级等离子体会在处于腔体与废气排出口之间的废气中形成，为了减少等离子体向真空泵系统的泄露，或者为了改善处理的等离子体的均一性，或者二者皆有。这个排气配件包括一个供电的与接地电极接通的排气盘，用以在经等离子体处理系统处理过的基底的外围形成次级等离子体。