| 摘要： | 该项专利是一个加速度传感器元件，有高的探测灵敏度并且实现加速度的准确测量；一个加速度传感器包括这个加速度传感器元件以实现更小尺寸和更薄厚度。该加速度传感器元件10包括一个石英，在Z轴方向上有一个厚度，并且在石英基体20上形成，在正交的XY平面上被开发。石英基体20的一个凹的部分的底部的薄壁部分有一个双端引线振荡簧片30，其中有一对振荡臂31和35在Y轴方向延伸。当在Z轴方向的加速度被应用，这个双端引线振荡簧片有弯曲振动时，当双端引线振荡簧片30在Z轴方向上偏斜时引起共振频率的变化，加速度基于共振频率的变化被探测。 |