| 摘要： | 本发明提及一种模块化的半导体基板清洗系统，其操作在垂直方向上的半导体基板。该系统具有很多功能模块包括超音波箱型清洁器和一个洗涤器。输入模块可能会收到一个水平方向的基板和旋转基板到垂直方向，输出模块可能会收到一个垂直方向基板和旋转基板到水平方向。每个模块（输入，清洁和输出）都有一个基板支撑，并可被定位，使得相邻模块基板支撑间隔同样距离。这些模块是通过一个具有与基板支撑相同距离（X）的多个基板处理器的空传装置耦合的。该专利还涉及传输系统前进和后退距离的指标（X），传送半导体基板通过清洗系统，从晶圆旋转/方向感应器模块升降所需的基板，传送晶圆在基板的先期机器（如半导体基板抛光机）和基板清洗系统之间的运载装置。 |