公开号：	US2007164215A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	距离测量方法和设备
摘要：	距离测量方法和设备用于测量从被测样品到至少一个参考点的距离，其功能不依赖于样品的类型。信号被调制到样品的第一潜力，并且主要粒子束指向样品，导致通过相互作用形成次要粒子束，该粒子束有调制信号。次要粒子束的微粒和信号被调制和检测。通过比较被检测调制的信号和参考信号，能够计算出距离。该设备有执行方法的相关部分。