公开号：	US2006243390A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	一种利用腐蚀液的超声辅助刻蚀方法
摘要：	本发明公开了一种用于化学蚀刻工件的超声蚀刻装置。该装置包括：至少部分地填充有水溶液的外槽；至少局部设置在外槽内并与水溶液接触的内槽，内槽中至少部分地填充有蚀刻溶液；与内槽口啮合的盖；与外槽连接以将超声波能量传递给内槽中的蚀刻溶液的超声换能器。而且，本发明公开了采用该装置蚀刻工件的多个方法。