公开号：	US2006264050A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	化学掺入晶圆加工的方法和装置
摘要：	本专利涉及一种化学掺入晶圆加工的方法和装置。包括：化学成分被通入体积已知的带有阀门的管体中，通入管体的化学成分可产生可测量量的化学成分，可测量量的化学成分用于晶圆加工过程。