公开号：	US2006272676A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	一种清洗晶圆边缘和背面的方法和装置
摘要：	本专利涉及一种清洗晶圆的方法，包括测量沿径向方向切割晶圆得到的横截面的形状，归属测得的形状为一组形状分类中的一个，确定清洗液的量和根据裁定标准得到的旋转速度，旋转晶圆和喷涂清洗液到旋转晶圆的背面，通过喷涂清洗液到边缘部分清洗晶圆边缘部分和背面。