公开号：	US2007007238A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	一种利用简化的刻蚀技术制备带有多个下陷的型材的方法
摘要：	本发明涉及一种带有多个下陷材料制备的方法。在工件上覆盖抗蚀树脂图案，然后通过湿法刻蚀在材料中制备凹槽。第一次湿法刻蚀后，在刻蚀的凹槽上进行聚合干法刻蚀制备出聚合物膜。聚合物膜在第二次刻蚀中防止凹槽的进一步刻蚀。因此，利用单个抗刻蚀树脂图案，在工件的下部获得具有更大凹槽的凹槽形状。本工件可能是在同种材料形成多个或者单个层数的工件。