公开号：	US2007164631A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	电容性的微机械超声换能器
摘要：	一个电容性的微机械超声换能器包含一个由许多转换器组成的超声波转换/接收面，每个转换器包含了一层薄膜，该薄膜有第一电极和支撑该电极的加片。也包含一个第二电极，该电极与第一电极方向相反并且在一个法定平面内不接触，其中，转换器的排列是基于转换器的共振频率的。