公开号：	US2007062909A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	通过钝化提高不锈钢表面的抗腐蚀能力的方法
摘要：	本发明涉及一种空间节约的用于半导体加工设备气体分配的集成的流体传送系统。该系统包含集成的流体管道网络结构，包含流体通道的层状衬底，各种流体处理器和检测元件。层状的衬底是通过扩散粘结的。扩散粘结之后，通过一系列的步骤处理提高铬在不锈钢表面的含量就可以提高扩散粘结的不锈钢部件的抗腐蚀能力。