公开号：	US2007095366A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	电子器件衬底表面有机物的脱模和清除方法
摘要：	本发明涉及一种清除电子器件衬底表面有机物的方法。该方法特别适用于具有裸露金属的器件衬底。将电子器件衬底表面暴露在有臭氧浓度为45到600ppm的纯丙酸或丙酸水溶液或2到4个碳的碳酸盐中。本方法特别适用于大表面积的器件结构，如电子场效应晶体管平板显示器，太阳能阵列，含有发光二极管的结构。本方法还适用于清除含半导体衬底的固态器件结构表面的有机物。