公开号：	US7452426B2
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	含有表面活性剂的加工溶液用于后化学机械平坦处理
摘要：	该加工溶液由一种或多种表面活性剂组成，用于减少半导体器件生产过程中产生的多种缺陷。在一个是实例中，在化学机械平坦过程中或之后，利用本专利的加工溶液可以减少缺陷。本方法也可以减少多种后化学机械平坦衬底的多种缺陷。