| 摘要： | 控制等离子体加工的仪器包括一个为了搭配阻抗在一个传输线里输送高频波而在加工室内产生等离子体的阻抗搭配工具；一个收集单元可用于收集可调参数的阻抗搭配工具的一系列数据；一个参考创建模块，通过可调整的参数的参考时间系列数据创建控制参考数据，并且参考时间系列数据在等离子体加工过程中被收集；一个初始化模块，初始化目标等离子体加工过程的调整参数；一个记录模块，记录调整过的参数的目标时间系列数据，为了减小在目标等离子体加工过程中高频波的反射波到最小，一个通过比较目标时间系列数据和控制参考数据测定模块用于测定目标等离子体加工过程的形变。 |