公开号：	US2007164772A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	基于单片机的微阵列惯性传感系统
摘要：	该项发明的单片机包括许多以矩阵形式排列的传感单元，每个单元包括一个金属层，在许多自由度内可摇摆，一个垂直运动的金属杆通过传感器单元的中心点，并且与金属层连接。一个电极结构位于金属层的下面并且与其平行，许多传感电极感受在激化电极和金属层之间形成的电容，以获得电容信号，一个阻止元件限制金属层在一个特定范围内摇摆，一个电路用于接收电容信号。该装置安装在对象上以测定对象的惯性。