公开号：	US2006170915A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	光学测量基板的及其制造方法
摘要：	通过选用很难吸附在基板上的材料将其蒙在基板上然后进行基板蚀刻并在基板上形成一定的图案。由于吸附在上面的材料是很容易脱落的，所以刻好之后将上面的那层材料，以免使得上面的材料和基板之间产生一定的间隙。根据这一方法，就可以轻松地制造有凹槽的截面形状可以近似为一条有拐点的曲线的光学测量衬底。因此，即使在测量反射光的光事件在不到45度角，靠微量的物质的光学特性，也可以可有效地测量。