公开号：	US2006134919A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	电解工艺或电泳在覆层、工艺生产、回收或精炼金属、工件的接合等方面的应用
专利名：	用来处理基底的系统和方法
摘要：	本专利发明了一个化学氧化物移除的处理系统和方法。该处理系统由一级处理室和二级处理室组成，这两个处理室相互连接在一起。一级处理室是一个温度控制的化学处理室，它由一个用来化学处理的温度控制基底构成。这个基底暴漏在化学气氛当中，例如：HF/NH<SUB>3</SUB>，基底的表面温度和气体压力都能得到很好的控制。二级处理室是一个可以提供温度控制的热处理室，和化学处理室是热绝缘的。热处理室提供一个衬底架用来控制基底的温度从而进一步热加工基底的化学修饰表面。