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企业难题需求
公开号: US2006249391A1
大类:国外
行业类型:化学
行业内分类:电解工艺或电泳在覆层、工艺生产、回收或精炼金属、工件的接合等方面的应用
专利名:高分辨率电解制程,仪器以及由此产生的产品
摘要:根据本发明,通过提供基底,用电解质覆盖表面,至少在电解质临近表面的一个纳米电极上进行处置等过程图案化一个基底的表面。在电极和基底之间施加电流,通过电解在表面上移除或者沉积材料。根据表面上的图案以及纳米尺度电极的形状,材料采取一定形状被移除和沉积。这就是本仪器的工作过程以及新产品的制作过程。
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