公开号：	US2006260946A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	电解工艺或电泳在覆层、工艺生产、回收或精炼金属、工件的接合等方面的应用
专利名：	采用阳离子渗透性屏障进行铜电解
摘要：	本专利发明了一种带有第一处理液和一个阳极的系统将其用于电解处理微特征工件。微特征工件被第一处理液，阳极，第二处理液和阳离子渗透性屏障层处理。阳离子渗透性屏障层将第一处理液和第二处理液隔开，并且允许某些特定的阳离子在这两种处理液之间进行交换。经过多重电解循环，这个过程会产生沉积物，并且在设计的范围内表现出一定的沉积性质，例如电阻率。