公开号：	US2007202258A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	电解工艺或电泳在覆层、工艺生产、回收或精炼金属、工件的接合等方面的应用
专利名：	微观图案形成设备，结构及其制备方法
摘要：	本专利发明了一个微观图案形成设备，它由电喷部分，支持部分，和掩膜部分组成。电喷部分是用来对含有样品的溶液施加电压，使溶液产生静电喷雾；支持部分提供一个芯片，溶液中的样品通过静电喷雾沉积到上面；带有图案的掩膜部分置于电喷部分和支持部分之间，静电喷雾的溶液穿过掩膜上的图案，在芯片上形成样品的微观图案。掩膜是用光刻胶材料制成，并且在支持部分的表面上形成凹陷和突起。