公开号：	US2008105657A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	电解工艺或电泳在覆层、工艺生产、回收或精炼金属、工件的接合等方面的应用
专利名：	微观粒子过滤等离子体源镀膜设备
摘要：	本专利发明了一个带有起始杆的等离子体源，可以减少目标蒸汽的屏蔽。弯曲的离子管道使其在内墙翻转，进而在等离子体内过滤微粒子。弯曲的离子管道是由几个管道分裂部分组成的，每个管道分裂部分都有单独的电流。本设备增加了离子的含量，通过高能离子可以获得优质的薄膜，并且提高了膜的吸附性和质量。