公开号：	US7137868B2
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	电解工艺或电泳在覆层、工艺生产、回收或精炼金属、工件的接合等方面的应用
专利名：	用于电化学机械加工的衬垫组装体
摘要：	本专利提供了一种用于加工基底的衬垫组装体。它有一个加工层，位于加工层下面并且和你相偶合的低级层以及电极组成。加工层带有一个工作表面，适用于加工基底。电极的上表面处于低级层的上部和加工层处理表面的下部。电极的上表面至少部分暴漏在工作表面上，用来在工作表面和电极的上表面之间产生电解质通道。