公开号：	US2006108321A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	单晶、多晶等相关材料的制备方法
专利名：	蚀刻仪器
摘要：	我们公开的是一个可以提高蚀刻玻璃基板的生产力的蚀刻设备。本发明包括一个带有腐蚀剂的蚀刻浴，一个在蚀刻浴内部的检测蚀刻程度的多元传感器，和一个向传感器喷洒去离子水的去离子水管。