公开号：	US7316969B2
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	单晶、多晶等相关材料的制备方法
专利名：	对基底进行热处理的方法和仪器
摘要：	该研发的目的是使用高温温度计用一种简单经济的方式测量温度，实现温度的精确测量，即使对于低温也可精确测量。该专利提供了一种对基底进行热处理的方法及其仪器，其中基底至少要暴露在第一和第二射线中；第一射线预设波长的射线在第一射线源于基底之间被吸收；从基底辐射的射线在预设波长下用与第二射线源安在同一侧的射线检测器测量；从第二射线源辐射的第二射线被调整和测定。