| 摘要： | 本专利提供了一个制造用于液晶显示装置的基板阵列的方法。该方法包括以下步骤：1.在基底上形成一个无定形硅样品；2.在无定型硅样品上形成金属催化剂样品；3.用金属催化剂样品作为催化剂，无定形硅样品退火转化成一个多晶硅样品；4.在多晶硅样品表面形成一个栅极绝缘层；5.对应于多晶硅样品的位置，在栅极绝缘层表面形成一个栅极电极；6.多晶硅掺杂杂质，用栅极电极作为掺杂掩蔽物来形成一个欧姆接触层和一个活跃层；7.在栅极电极上形成一个带有第一第二接触孔的层间绝缘层，第一和第二接触孔暴露了部分欧姆接触层；8.形成源电极和漏极电极的电极层间绝缘层，源电极和连接到欧姆接触层的漏极电极分别通过第一和第二接触孔。 |