公开号：	WO2006078666A2
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	单晶、多晶等相关材料的制备方法
专利名：	薄层反应体系
摘要：	单原子层沉积薄膜沉积仪包括一个用来在晶片上沉积薄膜的沉积室，晶片固定在一个确定的空间范围内。沉积室包含一个与空间连接的进气口。沉积仪装有一个气路系统将气体输送至沉积室进气口，至少有一部分气路系统固定在沉积室上。气路系统包括一个用来混合多种气体蒸汽的混合器，一个转换器件流动连接混合器和进气口。该转换器件包含一对横向发散的室壁，使气体进入进样口之前横向扩散。