| 摘要： | 本文提出了一种带有驱动单元的位置检测仪器，它带有一个磁场发生装置，还有一个磁场检测装置，另外还有第二和第三两个磁场检测装置来检测磁场，还包括一个压电驱动器以移动磁场发生器。当需要调节磁场发生装置和磁场检测装置之间的相对位置时，首先由第一个第二磁场测量装置的测量结果确定第一次位置移动，然后由第三磁场检测装置的测量结果确定第二次位移，然后产生的一个可移动的范围就能让磁场发生装置在里面进行适当的移动。按照规定的结构，可以在很高的精度去定位移动部件，哪怕是在驱动部件有一个很大的驱动间隔的情况下去检测移动部件的多元化的点。 |