公开号：	WO2007005816A2
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	单晶、多晶等相关材料的制备方法
专利名：	通过催化剂形成分段的纳米线介电材料
摘要：	本发明展示了一种形成分段的纳米线的方法，包括：提供一基板;预清洗基板;前处理基板;形成并在基板上放置催化剂，并且与电介质材料的重现脉冲等离子体增强化学气相沉积（PECVD）通过催化剂形成分段的纳米线。