公开号：	WO2007078844A2
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	单晶、多晶等相关材料的制备方法
专利名：	合成晶体，沉积的过程
摘要：	我们提供了一个具有许多颗粒的多晶金属氮化物的组成，这些颗粒都有一个或多个属性的柱状结构，如，平均晶粒尺寸，倾斜角，杂质含量，一孔隙度，密度，和一个金属原子在金属氮化物含量。金属氮化物的制作方法是，先向反应室加入至少一种第三主族金属，通入一种含有材料的氮气和卤化氢进入反应室，其中的含氮物质与第三主族金属在反应室反应，形成金属氮化物。一种制备金属第三主族多晶金属氮化物的设备可用，其中第三主族金属是作为原料通过原料进口进入反应室的。