公开号：	US2007092746A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	纳米材料及纳米复合材料
专利名：	外涂的光刻蚀层用的涂料组合物
摘要：	一方面，提出了有机涂料组合物，特别旋涂的包含聚酯树脂组分抗反射涂层。另一方面，提出包含树脂组分的涂层组合物，可以通过一个多羟基化合物的聚合得到。本发明的涂料组合物可以特别的在外涂的光刻蚀层使用来制造集成电路。