公开号：	US2007123674A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	纳米材料及纳米复合材料
专利名：	化学放大型抗蚀组分
摘要：	本发明公示了一个分子Ia的硫盐，一个包含分子Ib结构单元的聚合物，和一个抗蚀组分A,包含至少从分子Ia的硫盐组中选择一种化合物的酸产生器，一个包含分子Ib结构单元的聚合物，一个分子Ic的硫盐，B树脂包含一个酸不稳定基团，而且在碱液里不溶或者溶解度很小，但是在酸作用下变得在碱液中可溶。