公开号：	US2006182155A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	耦合激光光束方法和装置
摘要：	在光掩模投影系统中，光掩模罩通过从两个激光的光线被照亮。来自激光中一个光束和来自另一个激光的光束混合来提供两混合光束，每一个混合光束包含两个激光光束部分。混合光束是针对相对的角度并且横穿光掩模。