公开号：	US2006182403A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	高反射可调压力涂层，例如微电机械系统的反射镜
摘要：	高反射可调压力涂层的光学设备包含微电机械系统（MEMS）平台，在MEMS平台放置的反射镜和反射镜放置的多层涂层。多层涂层包含银(Ag)层，在银层上放置的氧化硅层，在氧化硅层上放置的单晶硅层，和单晶硅层上放置的氧化硅层。氮的浓缩物增加和/或减少来调整压力。