公开号：	US2006183034A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	光掩模
摘要：	面罩图案在透明基板上被提供，透明基板包含半光屏蔽部分，它在相同相位下传送显露光以至于光传送部分和相位改变器在光传送部分反相位传送显露光。半光屏蔽部分有投射比，它允许显露光部分透过。相位改变器在面罩图案区域被提供，在光传送的相位改变器能取消光传送部分和半光传送部分的光传送部分。