公开号：	US2006115918A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	制造磁场探测元件的方法
摘要：	本发明提出了一种制造磁场探测元件的方法，磁场探测元件基板上形成的一个软磁芯，及磁芯上方和下方的第一第二线圈，每个线圈都含有线圈线。该方法包括在基板上形成一个薄膜种子，然后按预先确定的图案将薄膜种子移除一部分，由此在薄膜种子上形成的第一线圈的线圈线之间便分开了，形成第一外板排列模型，并在薄膜种子的上部形成了相应的沟槽，然后用金属填充第一外板排列模型的沟槽从而形成了第一线圈，然后在基板的上部形成第二线圈和软磁芯，最后切除基板的边缘以便使线圈线之间绝缘。