公开号：	US2006174703A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	微型加热器和传感器
摘要：	本发明提出的微型加热器包括一个有腔的半导体基板：半导体基板上有一层绝缘层以封闭这个腔；将加热器和金属材料嵌入上述的腔上面的绝缘层部分。绝缘层包括：一个由二氧化硅做的抗压薄膜；一个有氮化硅做的张应力薄膜。拉伸应力薄膜厚度不小于压应力膜。