| 摘要： | 一种用于产生冷气流的冷却装置包括气源和至少一个第一换热器(4)具有一个在输入侧上的连接器(14b)和在输出端的连接器(15b)，冷却装置使用冷源(10)进行冷却，其特征在于冷却装置包括至少一个第二换热器(5)具有一个在输入侧上的连接器(14a)和在输出端的连接器(15a)，其中第一换热器(4)和第二换热器(5)安装在真空箱(11)中并且并行操作，第一换热器(4)和第二换热器(5)通过它们输出端的连接器(15a,15b)连接到公共输出线上(8)，它们轮流讲清洁气流供应到公共输出线中。本发明的冷却装置在没有任何干扰下可以在一段长时间内操作常规气体。 |