公开号：	US2006115920A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	具有MEMS的半导体器件
摘要：	本发明提出的具有MEMS的半导体器件，由大多数具有可动部分的单元形成一个MEMS，并单片安装在半导体基片上，其集成电路包括驱动电路，传感器电路和处理器。每个单元都具有处理器，存储器，驱动电路和传感电路。