公开号：	US2006174710A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	膜片式压力传感器
摘要：	隔膜压力传感器包括一个第一绝缘基板，一个有隔膜导电基板，一个第二带有气体进口的绝缘基板，以在隔膜和第一绝缘基板之间形成一个压力参考室，在隔膜和第二绝缘基板之间形成压力计量室。压力计量室和压力参考室之间的压力差引起了薄膜的变形，并通过测量压薄膜测量并获得压力测量室空气进口空间压力。此外一个金属板依附在至少是第一和第二绝缘板其中之一的表面，金属板有比绝缘板更低的热膨胀系数。