公开号：	US2007170939A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	测试半导体测试系统的仪器及其方法
摘要：	该测试系统包括：一个检测器，用于在一个半导体片上执行测试操作；一个分界面单元，用于在检测器和半导体片之间分界；一个传导盘，用于为分界面单元提供电流通路，当分界面单元被确定有缺陷时。