公开号：	US2007171405A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	半导体装置的检查设备
摘要：	半导体装置的检查设备包括一个安装半导体装置的孔，一个用于检查半导体设备的电子性能测量部分。一个标准样品和插口位于一个体内。标准样品的标准值被存储在测量部分内。通过比较由测量部分测得的标准样品的值和标准值，来判定测量部分是否不正常。