| 摘要： | 一台真空-驱动的气体测量仪临近传感器用于测量参考面支架和测量面支架之间的差异。不同于现有的邻近传感器，该真空-驱动的气体测量仪临近传感器使用一台真空吸尘器使气流通过临近传感器，这样，气体通过测量和参考喷嘴流进测量和参考支架。被吸入参考和测量喷管的周围气体流过参考和测量通道，在一个单通道内连结点处连结。单通道与真空吸尘器连结，用于疏散通过临近传感器的周围气体。一个桥式通道连结了参考和测量通道。沿桥式通道显示器的一个流量传感器检测测量支架，能被用于初始化控制活动。还发明了一种泵-驱动液体流量临近传感器。 |