| 摘要： | 本发明涉及真空泵,所述真空泵（100）包含一个一级（106）涡轮部分，一个抽吸分子部分（112），一个第一入口部分（120），流体经过第一入口可以流过一级部分（106）和抽吸分子部分（112）流到泵的出口（116），二级和三级（108,110）涡轮部分位于一级部分（106）和抽吸分子部分之间（112），一个第二入口（122），二级和三级（108,110）部分的布置使得通过第二入口（122）流入泵的液体分成两股流体分别流入二级和三级（108,110）部分，管道（126）传送流体流过一级（106）和二级与三级（108,110）其中的一个部分，流向出口（116）。 |