公开号：	US2007048154A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	流体机械
专利名：	微型机电系统冷却装置
摘要：	本发明的微型机电系统冷却装置包含一个或多个MEMS微型容积，这些微型容积与MEMS微型泵组件相连，其中每个微型泵组件包含一个柔性阀门，例如一个叶片阀门，通过容积驱动冷却液例如一个静电梳妆驱动结构。优化装置包含一个进口微型泵和一个出口微型泵组成，装置也可能与单个泵焊接在一起。