公开号：	US2007012369A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	流体机械
专利名：	转换阀装置
摘要：	本发明涉及用于真空吸附半导体芯片等构件的转换阀装置，目的是迅速并顺畅地进行真空破坏。包括：真空吸附用的真空吸附用转换阀功能单元；真空破坏用的真空破坏用转换阀功能单元；以及与真空吸附用转换阀功能单元的动作联动。在真空吸附用转换阀功能单元断开时，打开通往大气侧的通道，在接通时闭锁通往大气侧的通道的大气开放用转换阀功能单元。将真空吸附用转换阀功能单元、真空破坏用转换阀功能单元和大气开放用转换阀功能单元一起组装到本体中。