公开号：	US2007180916A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	电容微机械超声波传感器及其制作方法
摘要：	提供了一种制造电容式微机械超声波传感器元件的方法。该方法包括制造一个由玻璃组成的运载基体。制造该玻璃衬底的步骤可能包括在玻璃衬底中形成vias。另外，该方法包括制造这样一个薄膜，运载基体中的至少一个或薄膜，组成支撑杆，支撑杆用于界定洞深度。该方法还包括通过使用支撑杆连接薄膜与运载基体，在那里运载基体、薄膜和支撑杆界定了一个音响洞。