公开号：	US2007181818A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	测量惰性气体纯度的方法和仪器
摘要：	该装置用于检测在一种惰性气体中的杂质，包括一个探测室和一个受脉冲作用的紫外线光源。该紫外线的脉冲被转移进探测室内并且到达光电阴极上，从而散发一团自由电子到探测室内的惰性气体内。这团电子通过一个在其末端潜在的高的正电压被吸引到探测室的相反端，并且集中到传感阳极上。如果在惰性气体中有杂质，电子团的某些或所有将与杂志分子结合并且不会到达传感阳极。所以，在传感阳极上测量一个较低信号表示有高浓度杂质，而测量一个较高信号表明有较少杂质。通过该设备可测量在一部分范围内每十亿的杂质。