公开号：	US2006175553A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	半导体制造设备的控制系统和方法
摘要：	一种在等待模式控制半导体制造仪器的方法包括：探测相关的信息以确定相关的产品已经放置在生产线上，半导体生产仪器产品通过预定的程序对产品进行加工;再等待一定的时间以启动节能控制；在等待模式启动节能模式，在仪器生产准备已经完成的情况下恢复原先的驱动控制；提供了一种节能模式以便在等待时间长的时候启动，以节约能源。