公开号：	US2007051080A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	流体机械
专利名：	分散层状粘结基板中的串联过滤器
摘要：	本发明中的节省空间的集流传输系统，对半导体加工设备中的气体分布特别有效。本发明属于分散集流网络体系结构，除了带有流体通道的层状粘结基板外，还包括串联过滤器，各种流体输运和监视器元件。层状粘结基质形成的集流传输系统是扩散粘结的，各种流体输运和监视元件部分或全部集成到基板中，这是由根据设计和材料的要求而定的。